Электроника и наноэлектроника
Программа «Нанодиагностика материалов и структур»
Особенности обучения
Обучение ориентировано на формирование глубоких теоретических знаний в области электроники и наноэлектроники с акцентом на изучение и практическое использование методов диагностики материалов, структур и нанообъектов. В ходе обучения в магистратуре помимо прохождения курсов, связанных с проектированием и технологиями электронной компонентной базы и физики наноразмерных структур, примерно половина времени посвящается практической работе в лаборатории электронной микроскопии (ЛЭМИ), оборудование которой соответствует самому современному мировому уровню. Студент в достаточно короткие сроки получает теоретические сведения и навыки практической работы на приборах, которые достаточны для решения реальных задач, связанных с анализом и модификацией интегральных микросхем, изучением морфологии и состава объектов, изготовлением наноструктур.
Эффективному освоению программы способствует высокая квалификация преподавателей, широкий спектр научно-исследовательских работ, выполняемых в лаборатории, дружественная профессиональная атмосфера. На время обучения студенту предоставляется рабочее место, оборудованное высокопроизводительным ПК для анализа получаемых экспериментальных данных, общежитие, возможность участия в финансируемой научно-исследовательской деятельности и представления полученных результатов на всероссийских и международных научных конференциях.
Оборудование лаборатории электронной микроскопии:
- Растровый электронный микроскоп Philips XL 40, оснащенный детектором рентгеновского излучения
- Электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650, сочетающий растровый электронный микроскоп с пространственным разрешением микрофотографий до 1 нм и систему с фокусированным ионным пучком, открывающую возможность для локального травления образцов и осаждения на них различных структур
- Просвечивающий электронный микроскоп Titan Themis 200 с корректором сферической аберрации и разрешающей способностью 0,9 Å, позволяющей исследовать атомарное строение материалов
- Прецизионная ионно-полировальная система Gatan PIPS model 691
- Установка магнетронного напыления тонких пленок Cressington 208HR High
- Оптический микроскоп Vistec INM100
- Высокопроизводительные рабочие станции, позволяющие выполнять ресурсозатратные вычисления с применением современных методов моделирования
Научно-образовательная школа
Обучение и подготовка специалистов по программе осуществляется преподавателями и научными сотрудниками, обладающими теоретическими и практическими навыками в области микро- и наноэлектроники, методов исследования и диагностики структуры материалов, в том числе на атомарном уровне. Они являются ведущими специалистами в своей области, активно участвуют в выполнении научно-исследовательских работ и имеют публикации в высокорейтинговых отечественных и зарубежных журналах. Руководитель программы профессор, д.ф.-м.н. Н.И. Боргардт является постоянным членом программного комитета всероссийских конференций по электронной микроскопии. За последние 5 лет на базе лаборатории электронной микроскопии подготовлено и защищено 8 магистерских работ, 4 кандидатских и 1 докторская диссертация.
Научно-образовательная деятельность, предлагаемая в лаборатории, носит междисциплинарный характер и включает как теоретическую, так и экспериментальную подготовку. Обучающиеся в магистратуре приобретают и отрабатывают навыки работы на оборудовании мирового уровня и получают на них свои экспериментальные результаты. Количественный анализ полученных данных осуществляется с применением либо известных программных продуктов, либо самостоятельно разработанных программ.
Основные направления специализированной подготовки и темы магистерских диссертаций:
- Методы сканирующей электронной микроскопии. Цифровая обработка экспериментальных электронно-микроскопических изображений. Количественная характеризация нанообъектов и поверхности наноструктур.
- Метод фокусированного ионного пучка. Прецизионная модификация нанообъектов и поверхности материалов. Формирование рельефа с заданным профилем на поверхности структуры. Моделирование процессов взаимодействия высокоэнергетических ионов с атомами исследуемого объекта.
- Методы просвечивающей электронной микроскопии. Дифракционные методы исследования структуры объектов. Метод просвечивающей электронной микроскопии с атомарным разрешением. Метод просвечивающей сканирующей электронной микроскопии. Моделирование электронно-микроскопических изображений.
- Методы рентгеновского микроанализа состава наноструктур с применением сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии.
Сфера занятости выпускников
Имея глубокую теоретическую подготовку и обладая навыками практической работы на современном оборудовании, выпускники программы могут работать высококвалифицированными специалистами как на промышленных предприятиях, так и в исследовательских и аналитических центрах и лабораториях, выполняющих характеризацию, диагностику и анализ материалов, структур и нанообъектов, используемых или являющихся перспективными для современной микро- и наноэлектроники.
В числе таких организаций:
- Системы микроскопии и анализа (Сколково)
- ЗНТЦ
- ОАО «НИИМЭ»
- ОАО «Микрон»
- ОАО «Ангстрем»
- Миландр
Высокий уровень подготовки позволяет выпускникам программы продолжить дальнейшее обучение в аспирантуре МИЭТ по специальностям:
- 01.04.07 «Физика конденсированного состояния»
- 01.04.10 «Физика полупроводников»
Контактная информация:
Институт физики и прикладной математики
тел. (499) 720-85-58
e-mail: fpm@lenta.ru
Лаборатория электронной микроскопии
тел. (499) 720-87-65
e-mail: lemi@miee.ru
Наша группа ВКонтакте